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電路板油墨 光刻膠 特種油墨

集成電路用光刻膠

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1.特別說明:

具體型號說明書及相關檢測報告請前往下載中心下載。

2.應用領域:

集成電路領域的具體應用包括：集成電路芯片制作（涉及金屬層、鈍化層、離子注入層的光刻）；集成電路先進封裝等。

3. 技術參數:

集成電路用光刻膠主要技術參數：

集成電路用光刻膠系列主要包括： RD-4000、RD-6000等系列，不同系列光刻膠的主要技術參數如下：

序號

產品序列

主要參數

1

RD-4000系列


水分：<0.5%；顆粒(0.5um顆粒，個/ml)：<100；痕量金屬(K、Na、Fe，ppb）：<50；膜厚：1.0~4.5um；分辨率：0.4um(i-line曝光)


2

RD-6000系列


水分：<0.5%；顆粒(0.5um顆粒，個/ml)：<100；痕量金屬(K、Na、Fe，ppb）：<100；膜厚：3.0~15um；分辨率：0.65um(i-line曝光)


集成電路用光刻膠主要技術參數：

集成電路用光刻膠系列主要包括： RD-4000、RD-6000等系列，不同系列光刻膠的主要技術參數如下：


序號

產品序列

主要參數

1

RD-4000系列


水分：<0.5%
顆粒(0.5um顆粒，個/ml)：<100
痕量金屬(K、Na、Fe，ppb）：<50
膜厚：1.0~4.5um
分辨率：0.4um(i-line曝光)


2

RD-6000系列


水分：<0.5%
顆粒(0.5um顆粒，個/ml)：<100
痕量金屬(K、Na、Fe，ppb）：<100
膜厚：3.0~15um
分辨率：0.65um(i-line曝光)