平板顯示用光刻膠

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產品介紹操作工藝參數注意事項

1.特別說明:

具體型號說明書及相關檢測報告請前往下載中心下載。

2.應用領域:

平板顯示領域的具體應用包括：TN/STN-LCD的ITO電極制作；TP的ITO電極、Mo/Al/Mo Sensor制作；TFT-LCD/OLED的TFT背板制作等。

3. 技術參數:

平板顯示用光刻膠主要技術參數：

平板顯示用光刻膠系列主要包括：RD-PFR/PFS、RD-PTL500、RD-PTH800等系列，不同系列光刻膠的主要技術參數如下：

序號	產品序列	主要參數
1	RD-PFR/PFS系列	水分：<0.5%；顆粒(0.5um顆粒，個/ml)：<100；痕量金屬(K、Na、Fe，ppb）：<500；膜厚：1.2~2.2um；分辨率：2um(g+h+i曝光)
2	RD-PTL500系列	水分：<0.5%；顆粒(0.5um顆粒，個/ml)：<100；痕量金屬(K、Na、Fe，ppb）：<300；膜厚：1.4~2.2um分辨率：1.5um(g+h+i曝光)
3	RD-PTH800系列	水分：<0.5%；顆粒(0.5um顆粒，個/ml)：<100；痕量金屬(K、Na、Fe，ppb）：<100；膜厚：1.4~2.2um；分辨率：1.5um(g+h+i曝光)

平板顯示用光刻膠主要技術參數：

平板顯示用光刻膠系列主要包括：RD-PFR/PFS、RD-PTL500、RD-PTH800等系列，不同系列光刻膠的主要技術參數如下：

序號	產品序列	主要參數
1	RD-PFR/PFS系列	水分：<0.5% 顆粒(0.5um顆粒，個/ml)：<100 痕量金屬(K、Na、Fe，ppb）：<500 膜厚：1.2~2.2um 分辨率：2um(g+h+i曝光)
2	RD-PTL500系列	水分：<0.5% 顆粒(0.5um顆粒，個/ml)：<100 痕量金屬(K、Na、Fe，ppb）：<300 膜厚：1.4~2.2um 分辨率：1.5um(g+h+i曝光)
3	RD-PTH800系列	水分：<0.5% 顆粒(0.5um顆粒，個/ml)：<100 痕量金屬(K、Na、Fe，ppb）：<100 膜厚：1.4~2.2um 分辨率：1.5um(g+h+i曝光)